實驗室設備定制公司在科研試驗領域大量使用的真空腔體往往在實際工作時，可能存在高純氣體為介質的正壓試驗工況需要用MEMS壓力傳感器/變送器來測量腔體的試驗壓力。但同時真空腔體對真空狀態下的漏率又有著嚴格的要求，通常市場中常見的壓力傳感器/變送器的內部和連接接口的密封性能難以達到需要的漏率水平，往往相差2個數量級以上。

       在電子工業、物理試驗等領域，往往也存在對高純氣體進行壓力測量的需要。同樣常見的普通MEMS壓力傳感器/變送器難以滿足密封需要導致雜質氣體的滲透或者對高純氣體的污染。

    于是開發一種適應正壓或者負壓測量需要又具有嚴格的漏率及使用可靠性、方便性的“零泄漏壓力傳感器/變送器”成為緊迫需要。西安鼎業流體科技有限公司（西安九鼎弘業儀器有限公司）通過積極研發和長期現場試驗成功開發了滿足這一特殊需求的“超低漏率（零泄漏）壓力變送器”。

                      等離子體材料表面改性試驗腔體

                           正壓試驗壓力：0.2bar

                           真空試驗壓力：1×10^-3Pa

                           接入電壓：100KV

                           腔體有效容積：放電腔體30L，氟化腔體4L

                           內部運動機構：樣品直線推送機構行程650mm，手搖旋轉推進，自動抓取

                           運 動  控 制：手動閥門開關，真空獲得過程PLC控制

     實驗室設備定制公司在科研試驗領域大量使用的真空腔體往往在實際工作時，可能存在高純氣體為介質的正壓試驗工況需要用MEMS壓力傳感器/變送器來測量腔體的試驗壓力。但同時真空腔體對真空狀態下的漏率又有著嚴格的要求，通常市場中常見的壓力傳感器/變送器的內部和連接接口的密封性能難以達到需要的漏率水平，往往相差2個數量級以上。超低漏率壓力變送器在正常使用具有極低的泄漏率（低至1×10^-7Pa.L/s），并非真正的 “零泄漏”（零泄漏是不存在的），完全滿足上述工況的需要。

       該壓力變送器采用了與常規MEMS壓力傳感器相同的測壓原理，但在結構和工藝和參數上具有如下特點：

       a.核心測壓元件采用了316L隔膜進行封裝；

       b.成品壓力芯體與一體化外殼采用全焊接封閉；

       c.采用了易于連接和密封的特殊對外連接結構；

       d.加工過程在無塵環境中進行；

       e.采用惰性氣體壓力標定；

       f.進行無塵、無菌清洗和包裝；

       g.具有現場顯示、無現場顯示、電池供電等多種結構形式；

       h.精度覆蓋0.25%F.S、0.1%F.S、、0.05%F.S，滿足高精度測量；

       i.壓力測量可按絕壓、表壓、正壓、負壓、復合壓力等多種形式提供。