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科研儀器定制公司等離子體設備使用過程中，由于氧氣和空氣的電離會產生臭氧。對參與臭氧的評價和處理對于等離子體設備的實用有很好的指導作用。
臭氧的基本特性：
氣態臭氧魚腥味的淡藍色氣體。
臭氧在常溫下分解較慢。在常溫常態常壓的空氣中分解，約為15～30min。在164℃以上或有催化劑存在時或用波長為25nm左右的紫外線照射臭氧時加速分解成氧氣。
臭氧在水溶液中的分解速度比其在氣相中的分解速度快。科研儀器定制公司臭氧在水中分解半衰期與溫度及pH值有關。隨著溫度升高，分解速度加快。溫度超過100℃時，分解劇烈；溫度達到270℃時，可立即轉化為氧氣。pH值越高，分解就越快。
臭氧的嗅閾值為0.02mL/m3，如果濃度達到0.1mL/m3時，就會刺激粘膜，濃度達到2mL/m3時會引起中樞神經障礙。
分析：
從上述臭氧的基本特性可知，雖然臭氧在自然狀態下會逐步分解，最終變為無污染的氧氣，但自然分解需要較長的時間。在分解和衰減周期中臭氧有其強氧化性，對有機物人體有較明顯的傷害作用。尤其是達到一定的濃度時，人體會有明顯的不適反應。
等離子清洗設備在使用過程中，會產生少量的臭氧。若設備在空曠室外工作影響不大，但若在室內密閉空間使用，則臭氧濃度的累積上升，會帶來顯著的影響，必須給予重視。
措施：
在等離子清洗設備實用過程中可以采取如下措施減少臭氧的危害。
⑴.采用室內通風換氣設備，將室內累積的臭氧分子及時排到室外空曠地帶，還是采用高空排放；
⑵.若大規模使用，排放量大，科研儀器定制公司建議可以考慮設計制造負壓噴淋式堿液吸收罐，對含臭氧的工藝氣體進行集中處理，然后將無害氣體排放大氣。
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