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真空微調閥作為一種真空裝置上專用的精密微調閥門，主要用于對真空腔體的很空值進行微調。但由于科研儀器定制公司其良好的進出口耐壓性能，實際上可以用做充氣的微調閥。常見的真空微調閥的結構外形如下圖所示：
如圖，可以通過參考旋鈕刻度線的位置來確定閥門的開度，從而控制氣體的通過量。這種閥門最小可以控制到以Pa為單位的壓力變化，這樣就為腔體的低氣壓氛圍的準確控制提供了可能。
在西安鼎業流體科技有限公司（西安九鼎弘業儀器有限公司）設計的等離子體放電試驗裝置中成功應用了這種真空微調閥門。如下圖所示：
等離子體放電試驗裝置在試驗前需要將腔體抽真空至0.5Pa以內，然后關閉抽真空系統后，按步驟充入不同的介電氣體，在50Pa～1000Pa的范圍內確定試驗用的低氣壓氛圍。
科研儀器定制公司在這個試驗裝置中，充氣口采用三路閥門控制，均采用了微型真空微調閥作為充氣量調節。通過試驗，加裝這種閥門后，既可以實現單一氣體的控制，也可以實現不同種類氣體混合分壓的準確控制。考慮到溫度、沖擊等影響后，通過階梯控制閥門開度，可成功將最終的壓力值準確性控制在5Pa以內。這種新的應用成功替代了用戶原老式系統上的氣體質量流量計，既準確實現了試驗控制目標又節約了90%的流量控制儀表的成本。這種新的應用方式值得廣泛推廣，為更廣泛的用戶創造使用價值。
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