氦質譜檢漏儀不同于其它質譜儀，儀器的接收集極只能接收氦分壓信號。用氦質譜檢漏儀進行真空系統或真空元器件的檢漏方法，通常可分為吸入法和噴吹法兩類。科研儀器非標進行檢漏時，被檢件全部或局部處于加壓或真空狀態，檢漏儀則處于被檢件器壁的低壓一側，漏孔露出的示漏物質在檢漏儀質譜室建立的氦分壓取決于漏率和抽真空系統抽氣速率的控制，因此氦質譜檢漏技術就是要根據不同的檢漏條件，采用不同的檢漏方法，充分發揮檢漏儀的能力，以求得檢漏靈敏度高、檢漏時間短、漏孔位置判斷可靠性高和運轉費用低廉。

       ⑴.吸入檢漏法。

      吸入法檢漏屬于正壓檢漏法，檢漏吸嘴通過細長的管道與氦質譜儀相連接，被撿件中充入1atm的氦氣，吸槍的吸嘴在被檢件疑為漏孔的表面以一定的速度移動，當移動到漏孔處，漏出的氦氣一部分進入質譜室，使儀器發出聲訊信號，從而判斷漏孔的存在。

      檢漏儀指示有漏時，漏孔不一定正好在吸嘴所對的被檢件部位，在發現漏孔的范圍內，減小吸槍移動速度，減小吸槍與被檢件的距離反復查找，可以找到漏孔的準確位置。在吸嘴正好對準漏孔，吸槍不移動時，檢漏儀指示的漏率可能等于或接近于漏孔的實際漏率。

      吸入法檢漏靈敏度受很多因素限制，如漏孔的形狀、吸嘴相對漏孔的距離、吸槍相對于漏孔的夾角和移動速度、吸嘴的形狀和尺寸、吸槍的吸氣能力以及大氣中氦氣本底濃度大小及穩定情況等。吸槍吸入的是大氣與漏氣的混合氣體，其低可檢漏率不及噴吹法。

       吸嘴法檢漏的靈敏度受連接管道的流導限制，在有輔助泵時，還會受輔助泵分流作用的影響。對于大容器的檢漏，采用吸嘴法每次都要消耗大量的昂貴的氦氣。若漏孔較大，初檢時，被檢件切勿充入過高壓力的試漏氣體，因為大量的示漏氣體會從被檢件中漏出，不僅造成較大浪費，而且示漏氣體導出擴散后，增加了大氣中氦氣的本底濃度，會給檢漏儀帶來很大的干擾。因此，一般先應想被檢件內充以低壓力、低濃度的示漏氣體，科研儀器非標在檢出大漏并加以補修后，再充入高壓力，高濃度的示漏氣體，對小漏孔進行檢查。檢漏結束后應及時將示漏氣體回收或放空，并注意檢漏場所的通風。

      ⑵.噴吹法檢漏

      噴吹法是最常用最方便的檢漏方法，利用氦質譜檢漏的方法很多，要根據檢漏件的大小，結構特點以及漏洞大小采用不同的連接方式。

      若被檢部件的漏率和容積較小，檢漏儀的真空抽氣系統能將被檢部件抽至檢漏儀的工作壓力。可將被檢部件直接與氦質譜檢漏儀相連。由于沒有輔助真空系統的分流作用，漏入氦氣的濃度較高，檢測靈敏度高。

      被檢檢沒有吹氦氣時，大氣中的氦氣通過漏孔進入被檢件及檢漏儀質譜室，此時檢漏儀給的信號值為儀器本底氦信號。檢漏時用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴嘴在懷疑有漏孔的部位進行噴吹。當噴吹到漏孔部位時，高濃度氦氣將通過漏孔進入檢測系統，系統內各處氦的分壓開始上升，直到穩定狀態。此時若停止噴吹，由于泵的抽吸作用系統內各處分壓開始降低最后趨于初始的本底值。

      噴吹法檢漏次序應從被檢件的上方至下方。由靠近檢漏儀處向遠離處逐點進行噴吹。粗檢時用噴氦面積大噴嘴，找到漏孔區域后改用小噴嘴尋找漏孔的準確位置。對檢出的大漏孔要經過補漏后再去尋找小漏孔。若噴嘴噴吹到某一點時，檢漏儀指示有變化但信號上升很慢且指示數值很不一致，這表明靠近噴吹點附近其它地方有大漏孔，是噴吹的氦氣漂移到別處漏孔所致。若有兩個相鄰的可疑漏孔，則應先把一點用真空封泥蓋住，科研儀器非標在此點附近仔細搜尋漏孔。找到漏孔后，還應在噴吹信號消除后再作幾次復檢，確定是漏孔或者虛漏。